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蝕刻清洗臺適用產業(yè)：半導體照明（LED）--PSS工藝段、外延工藝段、芯片工藝段；控制模式：手動控制模式、自動控制模式；制程應用：顯影制程； 蝕刻（微蝕刻）制程；去光阻清洗制程；去蠟（膠）清洗制程；精密清洗制程；光罩去光阻清洗制程
自動片盒清洗機適用產業(yè)：半導體照明（LED）--半導體材料、半導體分立器件、集成電路、MEMS、有機發(fā)光二級管（OLED）、太陽能光伏等；控制模式：手動控制模式、自動控制模式；制程應用：濕法清洗制程；適用對象：晶片盒
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