 |
產品型號：WS-650-23
產品代碼：WS-650-23
產品價格：100000
產品編碼：WS-650-23
計量單位：臺
折 扣 率： 9
最后更新：2016-12-27
關 注 度：3403
生產企業：武漢邁可諾科技有限公司
|
|
|
 與企業聯系時請告知該信息來自教育裝備網！ |
|
|
產品詳細介紹Spin Processor勻膠旋涂儀
MYCRO公司提供美國原裝進口勻膠旋涂儀，請您放心選購！
MYCRO美國原裝進口的旋涂儀，自1985年開始，我們便為提供化工半導體材料清潔涂敷處理等特殊工藝。公司擁有WS系列各類旋轉涂敷系統，目前客戶已遍布全球。
勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者SpinProcessor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機/旋轉涂層儀、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機旋涂儀
適用旋涂材料的尺寸范圍
WS-650-23 標配為10mm 可選配到3mm或5mm 6英寸（150mm）直徑圓片或5x5英寸（125mm）邊長方片
WS-650-8 標配為10 mm 可選配到3mm或5mm8英寸（200mm）直徑圓片或7x7英寸（175mm）邊長方片
WS-650-15 標配為10mm 可選配到3mm或5mm12英寸（300mm）直徑圓片或9x9英寸（225mm）邊長方片
WS-650-X 標配為10 mm 可選配到3mm或5mm可根據用戶特殊要求訂制設備
可選擇三種不同的安裝構造:
***流行的Table Top型可自由放置在實驗臺面上
OND型，帶遠程控制器可用于手套箱等封閉環境
IND型，帶遠程控制器可用于WetStation濕法處理環境
高性能馬達驅動
旋轉控制
Mz型高精度旋涂用馬達
轉速范圍:50~12000RPM （注 50RPM是***小穩定轉速）
加速度:13000RPM/S;
轉速誤差:＜±0.5RPM@8000RPM NIST標準認證；
勻膠均勻性:＜1% @6 inch Wafer
安全設計
保護氣流構造
旋涂過程中可以充氮氣和氬氣,對旋轉馬達進行氣流保護 ;
防止飛片設計
嵌鎖的安全蓋板;蓋板鎖定后才可以啟動旋涂作業; 電子絕緣負載雙保護;
防腐構造設計;
新一代650型高性能數顯控制器。非常方便設定處理速度和加速度程序段；可設置順序循環控制;控制精度
數顯控制器采用高位計數光學編碼器輸出,高精度密封循環伺服控制器,經美國國家標準研究院NIST認證,實時顯示精度控制在設定值的0.006%以內(美國NIST激光測量器件的極限值)。系統無需重復校準!
操作者可隨時隨地自由實現人機交互；
設備運轉進程中,可隨意向前,向后或者往返跳躍操作步驟；
循環指令,并可以重復操作(多達255次)；
在運轉模式下也可以實時改變速度和加速度；
包含PC程序端接口；
可視化操作模型(化學試劑，傳感器所見即所得的操作界面)；
故障報警裝置(可形象顯明故障發生位置)；
加速度的***小分辨率為 1 RPM/S；
寬廣的速度設定范圍(1~12000RPM)；
需要更詳細的等離子體表面處理儀資料咨詢，
客服熱線：4008800298-8843 18221354817 Email: taran_zhao@mycro.com.cn
主營產品：勻膠機，旋涂儀，甩膠臺，勻膠臺，涂層機，涂膠機，涂膜機,旋轉涂敷儀, HPC,PPC, PAC，SCE系列等離子清洗機， Cargille光學試劑，光刻機/曝光機，壓力機, 壓片機, 熱壓機，WABASH熱壓機, CARVER熱壓機,LAURELL勻膠機、HOT PLATE熱板 烤膠機
Laurell勻膠機 Harrick等離子清洗機 NDK熱板烤膠機 PlasmaEtch等離子處理系統
Carver手動壓片機 Uvitron紫外固化箱 Novascan紫外臭氧清洗機
Wenesco/EMS/Unitemp加熱板 Laurell EDC系統，濕站系統 NXQ光刻機
Anatech等離子系統 Wabash/Carver自動壓片機
公司名稱:邁可諾技術有限公司
聯系人：趙先生 4008800298-8843 18221354817 Email: taran_zhao@mycro.com.cn |
|
| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2016-12-27
|
|
|
在線客服
