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最后更新：2013-06-06
關(guān) 注 度：3107
生產(chǎn)企業(yè)：北京華林嘉業(yè)科技有限公司
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 與企業(yè)聯(lián)系時(shí)請(qǐng)告知該信息來自教育裝備網(wǎng)！ |
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹
顯影清洗機(jī)
適用對(duì)象：硅片 、藍(lán)寶石基片，2-12inch，2-4 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
適用產(chǎn)業(yè)：半導(dǎo)體照明（LED）、半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體分立器件、集成電路、MEMS、有機(jī)發(fā)光二級(jí)管（OLED）等；
控制模式：手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式；
制程應(yīng)用：濕法清洗顯影制程；
PSS襯底（SPM）清洗機(jī)
產(chǎn)能要求： GaN工藝 150000片/月和PSS工藝 105000片/月，共計(jì)255000片/月（設(shè)計(jì)機(jī)臺(tái)GaN工藝和PSS工藝各有1道，按照25分鐘/run,50片/run。產(chǎn)能共計(jì)270000片/月,按照22小時(shí)/天， 26天/月計(jì)算）滿足要求 ；
藥液種類：超聲波：去光阻液或ITO溶液；511溶液（H2SO4:H2O2:H2O=5:1:1）；稀HCl溶液（HCl:H2O=1:5） ；
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| 會(huì)員級(jí)別：免費(fèi)會(huì)員 |
| 加入時(shí)間：2013-05-23
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